اصل کار دستگاه پوشش یونی دستگاه آبکاری خلاء

اصل کار دستگاه پوشش یونی دستگاه آبکاری خلاء

تحقیق و توسعه مداوم فناوری به طور مداوم سطح فرآیند تولید را در صنعت بهبود بخشیده است. در مقایسه با بیماری های صعب العلاج گذشته، به مرور زمان برطرف شده است. در عین حال، با افزایش نیازهای مردم، محصولات بیشتری بر اساس پیشرفت علمی و فناوری تولید و متولد می شوند. و امروز قصد داریم در مورد دستگاه پوشش یونی صحبت کنیم.

اصل دستگاه پوشش یونی در واقع استفاده از تخلیه گاز یا یونیزاسیون جزئی مواد تبخیر شده در محفظه خلاء و رسوب مواد تبخیر شده یا واکنش دهنده بر روی بستر در حالی است که یون های گاز یا ذرات ماده تبخیر شده بمباران می شوند. آبکاری یونی به طور ارگانیک پدیده تخلیه درخشش، فناوری پلاسما و تبخیر خلاء را ترکیب می کند که نه تنها کیفیت فیلم را به طور قابل توجهی بهبود می بخشد، بلکه دامنه کاربرد لایه های نازک را نیز گسترش می دهد. از مزایای آن می توان به چسبندگی فیلم قوی، پراش خوب و طیف گسترده ای از مواد فیلم اشاره کرد. DM برای اولین بار اصل آبکاری یونی را پیشنهاد کرد. فرآیند کار به شرح زیر است: ابتدا محفظه خلاء را به درجه خلاء بالای 4×10 (-3) Pa پمپ کنید، سپس منبع تغذیه ولتاژ بالا را روشن کنید و یک تخلیه گاز کم فشار بین تبخیر ایجاد کنید. منبع و بستر پلاسما با دمای پایین الکترود زیرلایه به یک ولتاژ بالای منفی 5 کیلو ولت DC متصل می شود تا یک کاتد تخلیه درخشندگی تشکیل دهد. یون های گاز بی اثر تولید شده در ناحیه تخلیه درخشش وارد ناحیه تاریک کاتد می شوند و توسط میدان الکتریکی شتاب می گیرند و سطح زیرلایه را برای تمیز کردن آن بمباران می کنند. سپس وارد فرآیند پوشش می شود، حرارت می دهد تا مواد پوشش را تبخیر کند و اتم ها وارد ناحیه پلاسما می شوند، با یون ها و الکترون های گاز بی اثر برخورد می کنند و قسمت کوچکی یونیزه می شود. یون های یونیزه شده و یون های گاز سطح پوشش را با انرژی بالاتر بمباران می کنند و در نتیجه کیفیت فیلم را بهبود می بخشند.

www.superbheater.com