دستگاه پوشش خلاء الزامات فنی خلاء تبخیر

دستگاه پوشش خلاء الزامات فنی خلاء تبخیر

1. ساختار تجهیزات باید از نظر چیدمان معقول، از نظر ظاهر زیبا، کارکرد آسان و نگهداری آسان باشد.

2. ساختار و اندازه مهرهای استاتیک و دینامیک در تجهیزات باید با مفاد GB/T 6070 و JB/T 1090-1092 مطابقت داشته باشد.

3. برای اندازه گیری فشار هر قسمت به ترتیب بر روی لوله ها و محفظه های پوششی با خلاء کم و با خلاء زیاد دستگاه های وکیوم سنج نصب شود.

4. اگر واحد خلاء تجهیزات از پمپ انتشار به عنوان پمپ اصلی استفاده می کند، باید یک بادگیر یا تله سرما در ورودی هوای پمپ انتشار نصب شود.

5. در اتاق پوشش باید یک پنجره مشاهده وجود داشته باشد و برای تجهیزاتی که در طول فرآیند پوشش، تشعشع تولید می کنند، باید لنزهای ضد اشعه روی پنجره مشاهده نصب شود.

6. تجهیزات با دستگاه پخت قطعه کار باید دارای الکترودهای اندازه گیری دما یا دستگاه های اندازه گیری دما باشد.

7. سرعت چرخش مکانیزم چرخش نگهدارنده قطعه کار باید الزامات طراحی محصول را برآورده کند.

8. تجهیزات مجهز به دستگاه بمباران یونی یا دستگاه منبع یون کم انرژی پرتو گسترده باید بتواند به طور مداوم و پایدار برای بیش از 30 دقیقه در چارچوب پارامترهای مشخص شده در الزامات طراحی محصول کار کند.

9. بخاری که از سیم تنگستن به عنوان منبع گرمای تبخیر استفاده می کند باید مواد تبخیر را به طور معمولی تبخیر کند و هندسه بخاری نباید بر تبخیر طبیعی در طول فرآیند تبخیر تأثیر بگذارد.

10. وضعیت کار منبع تبخیر تجهیزات باید پایدار بوده و تنظیم و کنترل آن آسان باشد. الزامات فنی برای منابع مختلف تبخیر (مانند منابع تبخیر مقاومتی، منابع تبخیر پرتو الکترونی، منابع تبخیر پرتو یونی، منابع تبخیر لیزری، منابع تبخیر القایی و غیره) باید مطابق با استانداردهای محصول مربوطه مشخص شوند.

11. هنگامی که تجهیزات از منبع تبخیر با ولتاژ پایین و مقاومت جریان بالا استفاده می کنند، هر بخاری منبع تبخیر باید به طور معمول با ولتاژ 4 ولت تا 20 ولت و جریان 50 آمپر تا 180 آمپر کار کند.

www.superbheater.com