مشکل عدم یکنواختی فیلم آبکاری نقره خلاء

مشکل عدم یکنواختی فیلم آبکاری نقره خلاء

ابتدا سعی کنید از یکنواختی و ثبات جهت میدان مغناطیسی اطمینان حاصل کنید تا یک میدان مغناطیسی فضایی نسبتاً یکنواخت تشکیل شود.

ثانیاً لازم است تا حد امکان از یکنواختی فشار هوا به بالا و پایین اطمینان حاصل شود. هنگام طراحی محفظه خلاء، باید موقعیت نصب پمپ خلاء، روش هواگیری گاز فرآیند و چیدمان لوله گاز فرآیند در محفظه در نظر گرفته شود.

سوم، از آنجایی که نه میدان مغناطیسی و نه فشار هوا نمی توانند کاملا ایده آل باشند، می توان عدم یکنواختی میدان مغناطیسی را با عدم یکنواختی فشار هوا جبران کرد، به طوری که فیلم نهایی یکنواخت شود.

چهارم، فاصله هدف تا پایه نیز عامل مهمی است که بر یکنواختی لایه پوشش پراکنده شده تأثیر می گذارد.

وکیوم نقره آبکاری مگنترون کندوپاش پوشش یکنواخت

یکنواختی فیلم پوششی کندوپاش مگنترون یک شاخص مهم است، بنابراین بررسی عوامل موثر بر یکنواختی کندوپاش مگنترون برای درک بهتر پوشش یکنواخت توسط کندوپاش مگنترون ضروری است. به بیان ساده، کندوپاش مگنترون در میدان الکترومغناطیسی متعامد است، میدان مغناطیسی بسته الکترون ها را به یک حرکت مارپیچی در اطراف سطح هدف متصل می کند و در حین حرکت، به طور مداوم به گاز فعال آرگون برخورد می کند تا تعداد زیادی از یون های آرگون را یونیزه کند. و یون های آرگون تحت عمل میدان الکتریکی قرار دارند. بمباران هدف را تسریع کنید، یون‌های اتمی (یا مولکول‌های) هدف را به بیرون پرتاب کنید و آنها را روی بستر قرار دهید تا یک لایه نازک تشکیل شود. بنابراین، برای دستیابی به یک پوشش یکنواخت، لازم است یون‌های اتمی (یا مولکول‌های) هدف به صورت یکنواخت پراکنده شوند، که لازم است یون‌های آرگون که هدف را بمباران می‌کنند به طور یکنواخت بمباران شوند. از آنجایی که یون های آرگون برای بمباران هدف تحت اثر میدان الکتریکی شتاب می گیرند، میدان الکتریکی لازم است یکنواخت باشد. یون‌های آرگون از الکترون‌های محدود شده توسط میدان مغناطیسی بسته منشأ می‌گیرند که پیوسته با هم برخورد می‌کنند و در حرکت شکل می‌گیرند که به میدان مغناطیسی یکنواخت و توزیع یکنواخت گاز آرگون نیاز دارد. با این حال، در دستگاه کندوپاش مگنترون واقعی، این عوامل به سختی کاملاً یکنواخت هستند، بنابراین بررسی تأثیر عدم یکنواختی آنها بر یکنواختی تشکیل فیلم ضروری است. در واقع یکنواختی میدان مغناطیسی و یکنواختی گاز عامل مهم ترین عوامل موثر بر یکنواختی تشکیل فیلم هستند. در جایی که میدان مغناطیسی بزرگ است، فیلم ضخیم است، در حالی که فیلم نازک است، و جهت میدان مغناطیسی نیز عامل مهمی است که بر یکنواختی تأثیر می گذارد. از نظر فشار هوا، در شرایط خاص فشار هوا، فیلم در موقعیتی که فشار هوا زیاد است ضخیم تر است و برعکس فیلم نازک تر است.

www.superbheater.com