گسترده ترین طیف منابع یونی برای منابع یونی هال نقره ای خلاء

گسترده ترین طیف منابع یونی برای منابع یونی هال نقره ای خلاء

منبع یون هال بدون شک پر استفاده ترین منبع یونی است. منابع یونی پیشرفته مانند منابع یونی Mark I و Mark II Veece. برای اکثر منابع یونی مانند منابع داخلی مناسب است.

اگر تیتانیوم با تزئینات مقاوم در برابر سایش اندود شود، ضخامت تیتانیوم زیاد است و نیروی پیوند با بدنه باید قوی باشد و الزامات یکنواختی زیاد نیست. منبع یون سالن موجود است. جریان یون زیاد است و سطح انرژی یون نیز بالا است. اگر با تیتانیوم نوری پوشانده شود، سطح انرژی جریان یون عمدتاً باید متمرکز شود و یکنواختی جریان یون خوب است. بنابراین، بهتر است از منبع یونی کافمن یا RF استفاده کنید و در صورت اجازه می توان از منبع یونی ECR (سیکلوترون الکترون) یا ICP (کوپلینگ القایی) استفاده کرد. علاوه بر این، مواد مصرفی نیز باید در نظر گرفته شود، مانند منبع هال سیم تنگستن که پس از ده ساعت در گاز واکنش می سوزد. منابع یونی پیشرفته مانند منابع یونی ICP می توانند به طور مداوم در گاز راکتیو برای صدها ساعت کار کنند.

ویژگی های منبع یون نقره خلاء عبارتند از:

1 به طور خلاصه استفاده شده است.

2. جریان یون تقریباً متناسب با جریان گاز است و می توان جریان یونی بزرگتری به دست آورد.

3. سیم تنگستن به طور کلی در خروجی قرار می گیرد و ضربه پرتو یونی به سرعت خورده می شود، به ویژه برای گاز واکنش، که معمولاً باید ظرف ده ساعت جایگزین شود. و سیم تنگستن آلودگی خاصی خواهد داشت. برای مقابله با کاستی های سیم تنگستن. برخی از خنثی کننده های عمر طولانی تری مانند منبع کاتدی توخالی کوچک استفاده می کنند.

منبع یون هال با روکش نقره وکیوم

منبع یون هال آندی است که گاز فرآیند را با همکاری یک میدان مغناطیسی قوی محوری پلاسمون می کند. عدم تعادل شدید این میدان مغناطیسی محوری یون های گاز را جدا کرده و پرتو یونی را تشکیل می دهد. از آنجایی که اثر میدان مغناطیسی محوری بسیار قوی است، پرتو یونی منبع یون هال برای خنثی کردن جریان یون به الکترون های جبرانی نیاز دارد. یک منبع رایج خنثی سازی رشته تنگستن (کاتد) است.

www.superbheater.com