جنبه های اصلی کوره تک کریستال که نیاز به کنترل دارند

جنبه های اصلی کوره تک کریستال که نیاز به کنترل دارند

 

1. قطر کریستال (اندازه)

2. دما (کنترل قدرت)

3. مواد خام (مواد سیلیکون)

4. میزان نشت، کیفیت آرگون و غیره.

مواد کوره تک کریستال:

 

پس از تکمیل مواد، بررسی کنید که آیا مواد سیلیکونی ذوب نشده روی دیواره داخلی بوته وجود دارد یا خیر. اگر مواد سیلیکونی ذوب نشده وجود داشته باشد، برخورد با سیلیکون ذوب نشده هنگام افت سپر حرارتی باعث نوسانات سطح مایع در بوته می شود و بر رشد میله های سیلیکونی تأثیر می گذارد.

به طور مکرر با گاز Ar تهویه کنید و این فرآیند را تخلیه کنید تا اکسیژن در بدنه کوره تخلیه شود تا از اکسیژن باقیمانده جلوگیری شود.

بر محتوای اکسیژن میله های سیلیکونی تک کریستالی تأثیر می گذارد

فرآیند کوره تک کریستال Czochralski:

 

بارگیری → خلاء → ذوب → همجوشی کریستال بذر و سیلیکون مذاب → کریستال بذر → تنظیم شانه → چرخش شانه → قطر برابر → پایان

سیستم کنترل محرک کوره تک کریستال:

 

سیستم انتقال شامل بالا آمدن کریستال، چرخش کریستالی، افزایش تابه، چرخش تابه، به طور کلی از موتور سرعت سنج و درایو الکتریکی استفاده می کند.

روش کواکسیال دستگاه، ولتاژ سیگنال تغییر سرعت و ولتاژ سیگنال سرعت را با یک

ولتاژ ثابت نسبتاً ضخیم است و ولتاژ محرک موتور محرک توسط ناحیه تقویت کنترل می شود تا پایداری حاصل شود.

هدف از سرعت ثابت

سیستم کنترل دمای کوره تک کریستال:

 

از ترکیبی از بازخورد توان و بازخورد دما برای کنترل دما استفاده کنید

سیستم میدان حرارتی کوره تک کریستال:

 

سیستم میدان حرارتی شامل بخاری گرافیت، بوته گرافیتی، پوشش عایق نمدی گرافیت-کربن، پوشش عایق گرافیت و الکترود گرافیتی است.

سیستم گاز کوره تک کریستال:

 

گاز Ar ورودی نه تنها به عنوان یک محیط انتقال حرارت عمل می کند، بلکه SiO و CO تبخیر شده در بدنه کوره را نیز از بین می برد.

منتظر بنزین

سیستم خلاء کوره تک کریستال:

 

پس از عبور گاز Ar به بدنه کوره، از پمپ خلاء برای تخلیه استفاده کنید و این عمل را تکرار کنید تا اکسیژن بدنه کوره تخلیه شود.

از تأثیر اکسیژن باقیمانده بر محتوای اکسیژن میله سیلیکونی تک کریستالی جلوگیری کنید.

www.superbheater.com