هدف کندوپاش مگنترون فرکانس متوسط ​​برای تجهیزات آبکاری خلاء

هدف کندوپاش مگنترون فرکانس متوسط ​​برای تجهیزات آبکاری خلاء

اکنون هدف کندوپاش مگنترون فرکانس متوسط ​​را اضافه کنید و از هدف کندوپاش مگنترون برای شتاب دادن به مولکول های تبخیر شده بدنه فیلم تحت عمل میدان الکتریکی برای بمباران مواد مورد نظر، کندوپاش تعداد زیادی اتم هدف و اتم های هدف خنثی استفاده کنید. یا مولکول ها) بر روی لایه رسوب می کنند. فیلم بر روی بستر تشکیل می شود که انواع لایه هایی را که در گذشته با تبخیر طبیعی پردازش نمی شوند مانند آبکاری تیتانیوم و زیرکونیوم و غیره حل می کند.

در حال حاضر، فیلم کامپوزیت آلومینیوم-نیتروژن به طور کلی به عنوان لایه فیلم لوله خلاء استفاده می شود. کل لایه فیلم به سه لایه تقسیم می شود: لایه داخلی، لایه میانی و لایه بیرونی که هر کدام عملکرد خاص خود را دارند. ، عملکرد اصلی جذب انرژی نور و تبدیل آن به انرژی گرمایی است. لایه بیرونی یک لایه ضد انعکاس است، عملکرد اصلی کاهش انعکاس نور خورشید و افزایش میزان جذب نور خورشید است.

اصل پوشش لوله خلاء تجهیزات آبکاری خلاء

اصل پوشش لوله خلاء این است که الکترون ها در فرآیند شتاب گرفتن و پرواز به زیرلایه تحت اثر میدان الکتریکی با اتم های آرگون برخورد می کنند و تعداد زیادی از یون ها و الکترون های آرگون را یونیزه می کنند و الکترون ها به سمت بستر پرواز می کنند. تحت عمل میدان الکتریکی، یون‌های آرگون بمباران مواد هدف را تسریع می‌کنند، تعداد زیادی از اتم‌های ماده هدف را پراکنده می‌کنند و اتم‌های هدف خنثی (یا مولکول‌ها) روی بستر رسوب می‌کنند تا یک لایه تشکیل دهند.

الکترون های ثانویه تحت تأثیر نیروی مغناطیسی لوران میدان مغناطیسی در حین شتاب قرار می گیرند و به سمت بستر پرواز می کنند و در ناحیه پلاسما نزدیک به سطح هدف محدود می شوند. چگالی پلاسما در این ناحیه بسیار زیاد است و الکترون های ثانویه توسط میدان مغناطیسی احاطه شده اند. سطح هدف در یک حرکت دایره ای حرکت می کند و الکترون مسیر حرکتی بسیار طولانی دارد. در طول حرکت، به طور مداوم با اتم های آرگون برخورد می کند و تعداد زیادی از یون های آرگون را یونیزه می کند تا مواد مورد نظر را بمباران کند. ، از هدف دور شده و در نهایت بر روی بستر رسوب می کند.

www.superbheater.com