چگونه صفحات گرمایش برای مطابقت با استانداردهای SEMI برای تجهیزات تولید نیمه هادی تایید شده اند؟

ساخت نیمه هادی ها نیاز به تمیزی و خلوص زیاد مواد دارد. صفحات گرمایشی مورد استفاده در تجهیزات پردازش ویفر باید معیارهای بسیار سختگیرانه SEMI را رعایت کنند که بسیار فراتر از ایمنی الکتریکی اولیه است و شامل گازهای خروجی، تولید ذرات و سازگاری مواد است.

استانداردهای SEMI چیست؟
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) یک انجمن تجاری بین المللی است که استانداردهایی را برای اطمینان از کیفیت، ایمنی و سازگاری با محیط زیست تجهیزات تولید نیمه هادی ایجاد می کند. این معیارها برای تمیزی و عملکرد مورد نیاز در ساخت نیمه هادی ضروری هستند. استانداردهای SEMI طیف وسیعی از موضوعات از جمله ایمنی تجهیزات (S2)، سازگاری با محیط زیست (S8) و الزامات خاص مواد را دربرمی گیرد. هنگامی که صحبت از صفحات گرمایش می شود، انطباق SEMI به این معنی است که استانداردهای خلوص بالا مورد نیاز برای تولید نیمه هادی را برآورده می کنند.

کلید استاندارد SEMI برای صفحات بخاری
SEMI S{0}} ایمنی تجهیزات
SEMI S2 قوانین ایمنی عمومی را برای تجهیزات نیمه هادی ایجاد می کند تا اطمینان حاصل شود که صفحات گرمایشی برای استفاده در محیط تولید ایمن هستند. . انطباق با SEMI S2 توسط یک ارزیابی شخص ثالث- توسط یک ارزیاب معتبر SEMI S2 تأیید شده است. این استاندارد ایمنی الکتریکی، یکپارچگی مکانیکی و عملکرد کلی تجهیزات را پوشش می دهد.

دستورالعمل‌های ایمنی SEMI S{0}} برای حمام‌های شیمیایی گرم
SEMI S3 مربوط به ایمنی تجهیزات در حمام های شیمیایی گرم است. این استاندارد تضمین می‌کند که صفحات گرمایشی که در سیستم‌های پردازش شیمیایی به کار می‌روند، خطرات ایمنی یا ناکارآمدی عملیاتی ایجاد نمی‌کنند. همچنین شامل مواد و ساختار برای جلوگیری از آلودگی توسط محلول شیمیایی داغ است.

مشخصات SEMI F57 - برای مواد پلیمری در سیستم های شیمیایی مایع و آب فوق خالص
SEMI F57 استانداردهایی را برای مواد پلیمری، از جمله پوشش های روی صفحات گرمایشی، در تماس با آب فوق خالص و مواد شیمیایی مایع تعریف می کند. این استاندارد تضمین می‌کند که مواد مورد استفاده در تجهیزات تولید نیمه‌رسانا با سیالات فوق‌{2} خالص سازگار هستند و بر خلوص فرآیند تأثیر نمی‌گذارند.

استانداردهای صدور گواهینامه برای صفحات گرمایشی
صفحات گرمایش در تجهیزات نیمه هادی باید به طور دقیق مطابق با استانداردهای SEMI آزمایش شوند. این آزمایشات مربوط به کیفیت مواد، مقاومت در برابر آلاینده ها و سازگاری شیمیایی است:

خروج گاز (ASTM E 595)
گاز خروجی عبارت است از انتشار مواد شیمیایی فرار از مواد صفحه گرمایش هنگام گرم کردن. در تولید نیمه هادی، آلودگی در محیط اتاق تمیز می تواند منجر به ایراد در دستگاه های نیمه هادی حتی از سطوح بسیار ناچیز خروج گاز شود. صفحات گرمایشی ساخته شده از موادی مانند پوشش‌های PTFE و PFA باید طبق الزامات ASTM E595 برای خروج از گاز مورد آزمایش قرار گیرند تا تضمین شود که در حین کار ترکیبات خطرناکی را آزاد نمی‌کنند.

ریزش ذرات-
صفحات گرمایشی باید به گونه ای ساخته شوند که ایجاد ذراتی را که ممکن است ویفر یا عملیات شیمیایی را آلوده کنند، به حداقل برسانند. هر ماده ای که ممکن است در تماس با سیالات فرآیند قرار گیرد باید مورد بررسی قرار گیرد تا اطمینان حاصل شود که ذرات را در سطوحی که با فرآیندهای تولید ظریف در کارخانه های نیمه هادی تداخل ایجاد می کند، نمی ریزد.

مقاومت در برابر مواد شیمیایی فرآیندی
صفحات گرمایش در ساخت نیمه هادی ها اغلب در معرض مواد متخاصم مانند اسیدها، حلال ها و آب فوق خالص قرار می گیرند. این مواد باید تحت شرایط منحصر به فرد فرآیند تولید نیمه هادی مقاوم در برابر خوردگی و مقاوم در برابر تخریب باشند. پوشش‌های PTFE و PFA به دلیل مقاومت شیمیایی برتر، به طور گسترده در صفحات گرمایش استفاده می‌شوند و تضمین می‌کنند که یکپارچگی سطح گرمایش بدون وارد کردن هیچ گونه آلودگی حفظ می‌شود.

استانداردهای SEMI برای صفحات گرمایشی و چاک ها استانداردهای مهم SEMI SEMI S{0}} ایمنی تجهیزات (الزامات ایمنی عمومی)

دستورالعمل های ایمنی SEMI S{0}} برای بخاری حمام شیمیایی

مشخصات SEMI F57 - برای مواد پلیمری در سیستم‌های شیمیایی مایع و آب فوق‌العاده خالص

روش تست خروج گاز ASTM E595

SEMI F47 - روش های توصیه شده برای تجهیزات ساخت نیمه هادی

نتیجه گیری
SEMI استانداردی است که صفحات گرمایش مورد استفاده در تجهیزات نیمه هادی باید استانداردهای خلوص و ایمنی صنعت نیمه هادی را رعایت کنند. صفحات گرمایشی فاقد آلودگی فلزی هستند، ریزش ذرات را به حداقل می‌رسانند و مقررات خروج گاز را برای محافظت از فرآیند تولید نیمه‌رسانا رعایت می‌کنند. بخش های طاقچه در حال توسعه استانداردهای خاص خود برای برآوردن نیازهای فنی خاص خود هستند. انطباق با چنین استانداردهایی تضمین می کند که تجهیزات با الزامات عملکردی دقیق-در صنعت نیمه هادی مطابقت دارند.