نهایی کردن و خاموش کردن کوره تک کریستال:

نهایی کردن و خاموش کردن کوره تک کریستال:

هنگامی که تک کریستال به سمت دم کشیده می شود، انتهای آن شروع می شود. وقتی قطر تک بلور به Φ{0}} میلی‌متر رسید، منطقه ذوب از هم جدا می‌شود. در این زمان، شفت پایینی به حرکت به سمت پایین ادامه می‌دهد و شفت بالایی تغییر می‌کند تا به سمت بالا حرکت کند، در حالی که قدرت در 10 ± 40٪ باقی می‌ماند و به آرامی کریستال را خنک می‌کند. یک دستگاه رشد تک کریستال Czochralski متعلق به حوزه فنی تجهیزات رشد نیمه هادی است. این شامل یک سیستم سروو هیدرولیک برای تنظیم میله بوته است. در واحد کنترل گرمایش، یک ترانسفورماتور تعادل سه فاز، خازن فیلتر، راکتور و مقاومت به موازات منبع هارمونیک ترکیب و متصل می شوند. همچنین دارای دستگاه پر کردن گاز فرکانس متغیر است. این اختراع بر ناتوانی دستگاه محرک بالابر شفت بوته بوته در تضمین موثر پایداری کنترل تولید و دقت ناکافی، غلبه بر عدم توانایی واحد کنترل گرمایش موجود در حذف هارمونیک ها و همچنین غلبه بر درایو بالابر شفت بوته موجود غلبه می کند. نمی تواند به طور موثر ثبات کنترل تولید را تضمین کند و دقت کافی نیست.

چرخش کوره تک کریستال، نگهدارنده و آزاد کردن گیره:

وقتی قطر شانه منبسط شده با قطر نگهدارنده تک بلور به اندازه 3-20 میلی متر متفاوت است، سرعت انبساط شانه باید کاهش یابد و شانه باید تا رسیدن به قطر مورد نیاز چرخانده شود. تک کریستال حفظ می شود. قطر ایزودیومتر در 75mm-220mm حفظ می‌شود و تک بلور رشد می‌کند. سرعت 1mm/min{4}}mm/min است. در طول فرآیند انبساط شانه، زمانی که فاصله بین پین های نگهدارنده تک کریستال روی شانه تک کریستال کمتر از 2 میلی متر باشد، نگهدارنده آزاد می شود و تک کریستال گیره می شود.

انبساط شانه ای کوره تک کریستال و پر کردن نیتروژن:

بعد از رشد گردن، شانه ها را باز کنید، سرعت پایین را به آرامی به 3±2 میلی متر در دقیقه کاهش دهید، همزمان با افزایش قطر شانه های باز شده، به کاهش ادامه دهید و تا 4±8 دور در دقیقه بچرخانید و به آرامی کاهش دهید. و تا 1± 0.5rpm بچرخانید. به منظور جلوگیری از یونیزاسیون با فشار بالا، نسبت مشخصی از نیتروژن در یک فضای محافظ آرگون پر می شود و نسبت اختلاط نیتروژن 0.01% تا 5% نسبت آرگون است.

www.superbheater.com