آبکاری لوله الکتروترمال کندوپاش مگنترونی
پیام بگذارید
آبکاری لوله الکتروترمال کندوپاش مگنترونی
کندوپاش مگنترونی نوع جدیدی از فناوری کندوپاش است که به سرعت در دهه 1970 توسعه یافت. مشخصه آن ایجاد یک هدف مغناطیسی حلقه بر روی سطح هدف کاتد برای کنترل حرکت الکترون های ثانویه است. تحت تأثیر میدان الکترومغناطیسی، الکترونهای ثانویه تولید شده توسط بمباران یونی بر روی سطح هدف در نزدیکی سطح هدف برای حرکت سیکلوترون فشرده میشوند، فاصله تا آند را افزایش میدهند، احتمال برخورد با اتمهای گاز را تا حد زیادی بهبود میبخشند و در نتیجه سرعت کندوپاش را بهبود میبخشند. . در حال حاضر کندوپاش مگنترون در تولیدات صنعتی کاربرد دارد. این به این دلیل است که نرخ پوشش کندوپاش مگنترون یک مرتبه بزرگتر از کندوپاش دوقطبی است و دارای مزایای نرخ رسوب بالا، افزایش دمای زیر لایه پایین و آسیب کمی به فیلم است. در سال 1974، چاپین یک هدف کندوپاش مگنترون مسطح مناسب برای کاربردهای صنعتی را اختراع کرد که باعث ورود به عرصه تولید شد.
کندوپاش واکنشی
در روش کندوپاش، اگر هدف به صورت ترکیبی برای تولید یک فیلم مرکب ساخته شود، ترکیب فیلم تولید شده به طور کلی به طور قابل توجهی از ترکیب ترکیب هدف منحرف می شود. در این مرحله، مخلوط کردن فعال گاز فعال در گاز تخلیه می تواند ترکیب و خواص لایه نازک حاصل را کنترل کند که به آن روش کندوپاش واکنشی می گویند. عمدتاً برای تولید فیلم های ترکیبی عایق استفاده می شود و می توان با استفاده از دو روش کندوپاش به دست آورد: دوقطبی DC و RF. دستگاه واقعی آن تفاوت چندانی با کندوپاش دوقطبی و کندوپاش RF ندارد، به جز تنظیم دو درگاه ورودی گاز و گرم کردن بستر تا دمای 500 درجه سانتیگراد به منظور مخلوط کردن گازها. کندوپاش ساده ترین روش برای کنترل ترکیب آلیاژ در فناوری رسوب بخار فیزیکی است. فیلم آلیاژی را می توان با کندوپاش چند هدفه رسوب داد و تا زمانی که پارامترهای کندوپاش هر هدف کنترل شود، ترکیب خاصی از فیلم آلیاژی را می توان به دست آورد. فیلم آلیاژی همچنین میتواند مستقیماً با استفاده از یک هدف آلیاژی بدون هیچ گونه اقدامات کنترلی پاشیده شود و یک فیلم آلیاژی با ترکیبی دقیقاً مشابه با ماده مورد نظر بدست آید. اگرچه اجزای مختلف آلیاژ دارای ضرایب کندوپاش متفاوت هستند، اما در طول فرآیند کندوپاش، پس از مدتی، جزء با بالاترین سرعت کندوپاش، کندوپاش را در اولویت قرار میدهد و سطح ماده مورد نظر با سایر اجزاء تا زمانی که پایدار شود، غنی میشود. ترکیب سطح به دست آمده است. ترکیب نهایی فیلم به دست آمده مانند ماده مورد نظر خواهد بود.
www.superbheater.com
