الکترون ها از مرز دانه های پوشش دهنده های خلاء ساطع می شوند
پیام بگذارید
الکترون ها از مرز دانه های پوشش دهنده های خلاء ساطع می شوند
یون های فلزی به سطح کاتد جذب می شوند و می توانند یک لایه بار فضایی ایجاد کنند. میدان الکتریکی قوی ایجاد شده در این زمان باعث میشود که الکترونها از ریزترکها یا مرزهای دانهای با عملکرد کوچک روی سطح کاتد به بیرون پرتاب شوند.
دیواره داخلی و آند منبع هدف دستگاه پوشش خلاء
پس از برخوردهای زیاد، انرژی الکترونها به تدریج کاهش مییابد، از قید خطوط میدان مغناطیسی خلاص میشود و در نهایت روی زیرلایه، دیواره داخلی محفظه خلاء و آند منبع هدف میافتد. تحت شتاب میدان الکتریکی با ولتاژ بالا، یونهای Ar پلاس با هدف برخورد میکنند و انرژی آزاد میکنند و باعث میشوند اتمهای روی سطح هدف انرژی جنبشی یونهای Ar پلاس را جذب کرده و از شبکه اصلی جدا شوند. و اتم های هدف خنثی از سطح هدف فرار می کنند. به سمت بستر پرواز کنید و یک لایه نازک روی بستر قرار دهید.
سیستم کندوپاش مگنترونی روکش خلاء
در سیستم کندوپاش مگنترون، یک آهنربای قدرتمند 100-1000 گاوس در پشت هدف کاتدی قرار میگیرد و محفظه خلاء با گاز بیاثر (Ar) با فشار 011-10 Pa به عنوان حامل گاز پر میشود. تخلیه تحت عمل ولتاژ بالا، اتم های Ar به یون های Ar به علاوه یون ها و الکترون ها یونیزه می شوند. در فرآیند شتاب گیری و پرواز به سمت بستر، الکترون ها تحت تأثیر میدان مغناطیسی عمود بر میدان الکتریکی قرار می گیرند که باعث می شود الکترون ها در ناحیه پلاسما نزدیک به سطح هدف منحرف شده و محدود شوند. در امتداد سطح هدف به صورت سیکلوئید پیش می رود و در طول حرکت به طور مداوم با اتم های Ar برخورد می کند و تعداد زیادی از یون های Ar به علاوه یونیزه می کند.
سختی بسیار بالا و مقاومت در برابر سایش پوشش خلاء
1. از آنجایی که مواد پوششی روی سطح دارای سختی و مقاومت در برابر سایش بسیار بالایی است، در مقایسه با کاربید سیمانی بدون پوشش، کاربید سیمانی پوشش داده شده سرعت برش بالاتری را امکان پذیر می کند و در نتیجه راندمان پردازش را بهبود می بخشد. به طور قابل توجهی دوام ابزار را با همان سرعت برش بهبود می بخشد.
2. از آنجایی که ضریب اصطکاک بین ماده پوشش و ماده مورد پردازش کم است، نیروی برش تیغه پوشش داده شده در مقایسه با تیغه بدون پوشش تا حدی کاهش می یابد.
3. هنگامی که تیغه پوشش داده شده پردازش می شود، کیفیت سطح پردازش شده بهتر است.
4. با توجه به عملکرد جامع خوب، تیغه پوشش داده شده تطبیق پذیری بهتری دارد. تیغه پوشش دار دارای طیف گسترده ای از کاربردها است.
www.superbheater.com
