رسوب لایه های نازک بر روی بسترها با روش کندوپاشی پوشش خلاء
پیام بگذارید
رسوب لایه های نازک بر روی بسترها با روش کندوپاشی پوشش خلاء
کندوپاش پدیده ای است که در آن از ذرات باردار (معمولاً یون های مثبت گاز بی اثر) برای بمباران سطح یک جامد (که از این پس هدف نامیده می شود) استفاده می شود و در نتیجه باعث می شود اتم ها (یا مولکول های) روی سطح هدف از آن فرار کنند. آی تی. این پدیده توسط گرو در سال 1842 در حین مطالعه تجربی مشکل خوردگی کاتدی، زمانی که مواد کاتد به دیواره لوله خلاء مهاجرت کردند، کشف شد. پوشش خلاء با استفاده از این روش کندوپاش برای رسوب لایه های نازک بر روی بستر در سال 1877 معرفی شد.
طبقه بندی و دامنه کاربرد دستگاه پوشش خلاء
معمولا روش گاز زدایی قطعه کار ما پخت است و گاز و رطوبت قطعه کار با حرارت دادن تخلیه می شود. قبل از پوشش، قطعه کار در حین پمپاژ گرم می شود. همراه با گاز موجود در محفظه خلاء، توسط پمپ خلاء به بیرون پمپ می شود.
برای کنترل موثر انتشار گاز و رطوبت در داخل قطعه کار، و بهبود پایداری و یکنواختی پوشش، اقدامات مختلف گاززدایی برای قطعات کار مختلف انجام می شود. طبقه بندی و دامنه کاربرد دستگاه پوشش خلاء دستگاه پوشش خلاء عمدتاً به نوعی از پوشش اشاره دارد که باید تحت خلاء بالا انجام شود، از جمله انواع مختلفی از جمله تبخیر یون خلاء، کندوپاش مگنترون، اپیتاکسی پرتو مولکولی MBE، رسوب کندوپاش لیزری PLD. و انواع بسیار.
احتمال دستگاه پوشش خلاء به خواص فیزیکی خود قطعه کار بستگی دارد
برخی از قطعات کار در خود گاز، رطوبت و ... زیادی دارند. این مواد با گرم شدن تجهیزات به محفظه خلاء تخلیه می شوند و درجه خلاء را کاهش می دهند. علاوه بر این، برخی از گازها دارای اجزای سمی هستند که به طور مستقیم به محفظه خلاء آسیب می رساند. ساختار مکانیکی داخلی باعث می شود که تجهیزات به درستی کار نکنند. علاوه بر این، در طول فرآیند پوشش، به دلیل گرم شدن و انبساط گاز در قطعه کار، به راحتی می توان فیلم پوشش داده شده را ترک کرد. البته احتمال این وضعیت به خواص فیزیکی خود قطعه کار بستگی دارد، مانند پلاستیک هایی که به راحتی منبسط می شوند، احتمال آن نسبتا زیاد است. برای مواد سخت مانند فلز، احتمال نسبتاً کم است، اما نمی توان آن را نادیده گرفت، بنابراین گاز زدایی قطعه کار بسیار ضروری است.
حالت خلاء محیطی است که از عملکرد دستگاه پوشش خلاء پشتیبانی می کند، به ویژه تجهیزاتی که به درجه خلاء بالایی نیاز دارند. معمولاً باید به درجه خلاء بالایی برسیم. نقش سیستم استخراج هوا ضروری است، اما علاوه بر سیستم استخراج هوا، در تجهیزات پوشش خلاء در فرآیند کار، نکته دیگر گاز زدایی قطعه کار است.
www.superbheater.com
