اقدامات متقابل برای بهبود بی ثباتی سیگنال تجهیزات آبکاری خلاء:

اقدامات متقابل برای بهبود بی ثباتی سیگنال تجهیزات آبکاری خلاء:

 

1. طراحی سیستم فیلم:

 

● ضریب شکست ماده فیلم انتخاب شده در طراحی سیستم فیلم باید با دستگاه مورد استفاده برای مواد فیلم سازگار باشد.

 

ضخامت و تحمل ضریب شکست باید تا حد امکان در طراحی سیستم فیلم در نظر گرفته شود (ضخامت و تحمل ضریب شکست هر لایه 1 درصد -2 درصد است) به خصوص لایه حساس باید تلرانس خاصی داشته باشد. (1 درصد)

 

● مقدار "ابزار" ضخامت کنترل و ضخامت آزمایش واقعی باید دقیق باشد و تنظیم باید مرتباً تأیید شود.

 

●شرایط فنی طرح باید بیشتر از الزامات فنی نقشه ها باشد.

 

● تأثیر تغییر ضریب شکست لایه تغییرات بستر را در طرح در نظر بگیرید.

 

●تغییر ضریب شکست مواد فیلم و تطابق بین مواد فیلم و بین مواد فیلم و بسترها را در حین طراحی در نظر بگیرید.

 

2. سازندگان و مدل های مواد غشایی، تراشه ها و مواد نیترات مورد استفاده در محل کار نباید به طور مکرر پس از تایید تغییر داده شوند و آنهایی که باید تعویض شوند باید چندین بار تایید شوند.

 

3. برای جلوگیری و جلوگیری از بروز خطا در تکالیف،

 

چهارم، نظارت بر تست طیف‌سنجی هر لنز را تقویت کنید، منحنی طیف‌سنجی هشدار را تنظیم کنید و سیستم فیلم را به موقع تنظیم کنید.

 

5. مدیریت قطعات آزمایش و مقایسه تقویت می شود تا اطمینان حاصل شود که سطح آزمایش و قطعات مقایسه پوشانده شده با پوشش عاری از آلودگی، تازه است و ظاهر مطابق با الزامات مشخص شده است. قبل از استفاده، آزمایشی بر روی قطعه مقایسه برای اندازه گیری بازتاب آن انجام دهید (فقط یک نقطه طول موج را می توان اندازه گیری کرد) و مقدار اندازه گیری شده را با مقدار نظری مقایسه کنید. به طور کلی، مقدار اندازه گیری شده کوچکتر از مقدار نظری (اثر لایه خوردگی) است. اگر تفاوت بین دو مقدار نسبتاً زیاد باشد اگر خیلی زیاد باشد (مثلاً بیش از 1 درصد)، باید قطعه مقایسه را تمدید یا جایگزین کرد.

 

6. تست طیف سنجی عدسی باید پس از خنک شدن کامل بستر انجام شود.

 

7. بر قانون تغییر حساسیت تراشه کنترل کریستال مسلط شوید و داده های کنترل را به موقع تصحیح کنید. حساسیت تراشه کنترل کریستال در هنگام نو بودن و پس از استفاده از چندین کاور دقیقاً یکسان نیست و مقدار امپدانس صوتی تراشه کمی تغییر می کند. برخی از کنترل‌کننده‌های کریستال (مانند IC5) را می‌توان برای تصحیح خودکار تنظیم کرد، اما اکثر کنترل‌کننده‌های کریستالی عملکرد تصحیح خودکار مقدار امپدانس صوتی را ندارند. با تسلط بر قانون حساسیت ویفر، می توان آن را در تنظیم ضخامت فیلم اصلاح کرد.

 

8. اثر خنک کننده پروب کنترل شده با کریستال را بهبود بخشید. هنگامی که دمای ویفر بیشتر از 50 درجه باشد، خطای اندازه گیری بزرگ است.

 

9. استفاده از فناوری پوشش یونی می تواند پایداری ویژگی های طیف سنجی فیلم را بهبود بخشد.

 

10. قابلیت اعمال کنترل نور سیستم فیلم را در دستگاه بررسی کنید.

 

11. بررسی تأثیر انسان در کنترل نور

 

12. همیشه مسیر نور، سیگنال، قطعه تست و غیره کنترل نور را بررسی کنید.

 

13. سیستم فیلم را مناسب برای کنترل نور طراحی کنید.

www.superbheater.com