صفحه تنظیم برای دستگاه پوشش خلاء

صفحه تنظیم برای دستگاه پوشش خلاء

با توجه به تئوری توزیع ضخامت فیلم، یکنواختی ضخامت فیلم بین بسترها را می توان با افزودن صفحات تنظیم در محفظه تبخیر بهبود بخشید تا عملکرد را بهبود بخشد و نیازهای تولید انبوه را برآورده کند.

در فرآیند طراحی صفحه تنظیم، خطای زاویه ای تبخیر مواد نادیده گرفته می شود و ضخامت فیلم T فقط به زاویه تبخیر θ مربوط می شود. با افزودن صفحات تنظیم، تفاوت توزیع فیلم ناشی از زوایای مختلف تبخیر را می توان تغییر داد. نهایی شدن صفحه تنظیم با داده های تولید واقعی تصحیح و نهایی می شود.

عیب یابی دستگاه پوشش وکیوم

هنگامی که تجهیزات پوشش خلاء به طور معمول کار می کنند، لوله سوئیچ در مدار کلید اصلی در حالت رسانایی اشباع است، افت ولتاژ لوله در حدود 100V نگه داشته می شود، شبکه می شود. ولتاژ بایاس مثبت 50 ولت و ولتاژ بالا 6 کیلو ولت (یا 10 کیلو ولت) را نشان می دهد. سیگنال کنترل ولتاژ به دست آمده از مدار تشخیص R21 برای خراب کردن و هدایت لوله تنظیم کننده ولتاژ D13 کافی نیست، BG14، BG15، BG16 در حالت خاموش هستند، در حالی که BG11، BG12، BG13 در حالت روشن و BG11 هستند. خروجی پتانسیل 2.5 ولت یا بیشتر. BG10 در مدار سوئیچ ولتاژ گیت سیگنال کنترل ولتاژ 2.5 ولت را دریافت می کند و در حالت رسانا است، به طوری که پتانسیل پایه BG9 به پتانسیل 0 تبدیل می شود و خاموش می شود و لوله کلید اصلی ولتاژ بایاس رو به جلو 50 ولت را دریافت می کند. D6 و D7. در عین حال، BG7 و BG8 نیز در حالت هدایت هستند و لوله تنظیم کننده ولتاژ D8 شکسته و هدایت می شود و جریان ثابتی را به دروازه لوله کلید اصلی ارائه می دهد. از آنجایی که BG10 در حالت رسانایی است، پایه BG4 مدار کنترل شبکه پرده در پتانسیل 0 و خاموش است و اندازه ولتاژ شبکه پرده توسط سیگنال تقسیم کننده ولتاژ بالا UR2 کنترل می شود. وقتی UR2

www.superbheater.com